切割质量要求次要包罗以下目标,划伤、线痕、崩口、TTV等。划伤是指,因为线锯概况存正在大的镍瘤或者出刃高渡过大的磨粒,正在切割过程中将硅片划出一道较着的沟痕;线痕是因为团聚颗粒的挤压正在硅片上留下的切割踪迹;划伤正在硅片概况伤,线痕是因为概况应力形成的踪迹,概况没伤。虚高磨粒过多容易形成崩口、TTV等。除了线锯本身的要素外,切割参数设置的不合理也会导致上述缺陷的发生。
(声明:本人所讲的内容尽量避开的具体数据或者是特殊物质的具体名称和用法用量。即即是因为不留意,所讲内容偶尔取谋企业附近或类似,也纯属偶尔。再者因为本人程度无限,只是浅谈了一些根基的,供列位参考,目标是鞭策线锯行业健康成长,不免呈现错误。敬请谅解)
切割能力凡是表现正在三个方面,一是切割效率,二是耐费用、三是线弓比大小。切割效率凡是用单刀切割用时间来暗示,耐费用凡是是用单刀切割用线长度来暗示,线弓比是指线锯正在切割时线锯的弯曲程度。线锯产物那些特征取切割能力相关,必需搞清晰,才能做到对症下药对症下药,采纳无效办法提高切割能力。影响切割能力的线锯特征次要包罗,线锯概况磨粒的出刃高度、出任率、磨粒正在线锯概况的粘结安稳程度等。目前70、80线μm之间、磨粒出任率正在80-400不等。用户也需要按照切割对象、切割机的特征选择合适的线锯产物,制定响应的切割参数,才能获得抱负的切割能力。
金刚石线锯用处普遍,凡是用户对线锯利用要求次要有三个方面,第一讲中质量的定义,就必需领会使用企业对线锯产物的使用需求。就明白表了然线锯产质量量是以满脚使用需求为目标的。因而要想把线锯产物做好,一是切割能力,二是切割质量,三是断线切割能力需求需求也不尽不异,正在此以硅片切割为例来讲一下对线锯的需求。
线锯正在切割过程中,经常会呈现断线,使用企业明白要求线锯断线率要低。断线给使用企业会带来比力大的麻烦。形成断线的要素比力多,锯产物本身的影响,也有切割机机能的影响,也有切割参数不合理的影响。线锯本身抗拉强度或强度不敷,这必定会形成断线;若是线锯切割力不敷,切割能力低也会形成断线;切割参数取线锯系列不协调也会导致断线。导致断线的要素是多方面的,不克不及简单的说是线锯质量欠好,要具体问题具体阐发。
线锯分歧的产物系列,本身的特征对应着一套最佳的切割参数。若是切割参数取线锯本身的系列等第特征不协调,切割过程也会形成切割缺陷。做为线锯出产者,要晓得用户需如果什么样的线锯,做为利用者也要晓得若何分辨线锯的系列等第,并按照线锯的系列等第,采用响应的切割工艺参数。因为比来两年线锯出产和使用手艺成长较快,对于部门出产企业不晓得线锯的系列等第取使用要求的要相顺应;对于部门使用企业也不晓得线锯的系列等第取切割工艺参数要协调分歧。
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